表面形狀粗度測定機

● 高分解能廣域動態(tài)測定范圍、數(shù)位式激光解析式傳感器表面形狀．粗度測定機。

● 可解析表面粗度的各種參數(shù)、輪廓的所有形狀。

測量原理：一次測量粗糙度和輪廓。

表面形狀粗度測定機

Z分解能/測定范圍Z檢出方式觸針/測定力/針尖角度解析項目大測定范圍直線度精度

0.0075um/12mm 0.015um/24mm

半導(dǎo)體雷射軸標

R2um/0.75mN/60° R25um/10mN/25°

形狀解析（要素、方位向量、統(tǒng)計量、MASTER比較、公差判定） 表面粗度(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面波紋(JIS)

X:100mm

0.4um/100mm